(19)
(11) EP 3 036 756 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.06.2016  Patentblatt  2016/26

(21) Anmeldenummer: 14783764.5

(22) Anmeldetag:  20.08.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 31/0236(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2014/100294
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/024559 (26.02.2015 Gazette  2015/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 23.08.2013 DE 102013109163

(71) Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH
14109 Berlin (DE)

(72) Erfinder:
  • AMKREUTZ, Daniel
    12351 Berlin (DE)
  • PREIDEL, Veit
    12049 Berlin (DE)
  • SONTHEIMER, Tobias
    10245 Berlin (DE)
  • RECH, Bernd
    12587 Berlin (DE)
  • BECKER, Christiane
    10247 Berlin (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG POLYKRISTALLINER, 3D-STRUKTUREN AUFWEISENDER SILIZIUMSCHICHTEN GLEICHMÄßIGER DICKE