(19)
(11) EP 3 042 391 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
13.07.2016  Patentblatt  2016/28

(21) Anmeldenummer: 14747945.5

(22) Anmeldetag:  07.08.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/308(2006.01)
H01L 29/66(2006.01)
B81B 1/00(2006.01)
 H01L 29/16(2006.01)
H01L 29/78(2006.01)
B81C 1/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/066951
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/032577 (12.03.2015 Gazette  2015/10)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 05.09.2013 DE 102013217768

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • TRAUTMANN, Achim
    71229 Leonberg (DE)
  • BANZHAF, Christian Tobias
    89150 Laichingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES SUBSTRATS, SUBSTRAT, METALL-OXID-HALBLEITER-FELDEFFEKTTRANSISTOR MIT EINEM SUBSTRAT, MIKROELEKTROMECHANISCHES SYSTEM MIT EINEM SUBSTRAT, UND KRAFTFAHRZEUG