VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE UMFASSEND EINE DOTIERUNG DURCH IONENIMPLANTATION UND ABSCHEIDEN EINER AUSDIFFUSIONSBARRIERE - Patent 3044813

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EP 3 044 813 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	20.07.2016 Patentblatt 2016/29

(21)	Anmeldenummer: 14753037.2

(22)	Anmeldetag: 05.08.2014

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

H01L 31/0216^(2006.01)
H01L 31/068^(2012.01)

H01L 21/265^(2006.01)
H01L 31/18^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2014/066856

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2015/036181 (19.03.2015 Gazette 2015/11)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	BA ME

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Priorität:

13.09.2013 DE 102013218351

(71)	Anmelder: Ion Beam Services
	13790 Peynier (FR)

(72)	Erfinder:
	BOESCKE, Tim 99096 Erfurt (DE) KANIA, Daniel 99084 Erfurt (DE) SCHOELLHORN, Claus 60435 Frankfurt (DE)

(74)	Vertreter: Renaud-Goud, Thierry
	Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny 13100 Aix-en-Provence 13100 Aix-en-Provence (FR)

(54)	VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER SOLARZELLE UMFASSEND EINE DOTIERUNG DURCH IONENIMPLANTATION UND ABSCHEIDEN EINER AUSDIFFUSIONSBARRIERE