(19)

(11)

EP 3 050 118 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 03.08.2016  Patentblatt  2016/31 (21) Anmeldenummer: 14776652.1 (22) Anmeldetag:  26.09.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0216(2006.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 31/068(2012.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/070613 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/044342 (02.04.2015 Gazette  2015/13)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 27.09.2013 DE 102013219603 (71) Anmelder: Ion Beam Services 13790 Peynier (FR)	(72) Erfinder: BOESCKE, Tim 99096 Erfurt (DE) KANIA, Daniel 99084 Erfurt (DE) (74) Vertreter: Renaud-Goud, Thierry  Renaud-Goud Conseil 5, rue de Montigny 13100 Aix-en-Provence 13100 Aix-en-Provence (FR)