(19)
(11) EP 3 052 915 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
10.08.2016  Patentblatt  2016/32

(21) Anmeldenummer: 14789767.2

(22) Anmeldetag:  02.10.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01L 9/00(2006.01)
G01L 19/14(2006.01)
G01L 19/06(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/CH2014/000142
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/048916 (09.04.2015 Gazette  2015/14)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 03.10.2013 CH 16992013

(71) Anmelder: Kistler Holding AG
8408 Winterthur (CH)

(72) Erfinder:
  • KÜHNE, Stéphane
    CH-8008 Zürich (CH)
  • CAVALLONI, Claudio
    CH-8105 Regensdorf (CH)
  • GOEHLICH, Andreas
    47509 Rheurdt (DE)

(74) Vertreter: Zwick, Evelyn 
Kistler Holding AG Eulachstrasse 22
8408 Winterthur
8408 Winterthur (CH)

   


(54) MEMS-CHIP, MESSELEMENT UND DRUCKSENSOR ZUM MESSEN EINES DRUCKS