(19)
(11) EP 3 055 443 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
17.08.2016  Patentblatt  2016/33

(21) Anmeldenummer: 14793555.5

(22) Anmeldetag:  04.11.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/04(2006.01)
B05B 7/22(2006.01)
 C23C 16/513(2006.01)
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/073732
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/067614 (14.05.2015 Gazette  2015/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 11.11.2013 DE 102013222909

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • EDER, Florian
    91052 Erlangen (DE)
  • GEHRINGER, Walter
    90491 Nürnberg (DE)
  • HAJE, Detlef
    02828 Görlitz (DE)
  • MALEIKA, Marek
    90766 Fürth (DE)
  • TISCHER, Heiko
    02827 Görlitz (DE)

   


(54) VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG VON ROHRINNENSEITEN, SOWIE VERWENDUNG EINER MINIATURISIERTEN PLASMABESCHICHTUNGSDÜSE