(19)

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EP 3 061 127 A1

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(43) Veröffentlichungstag: 31.08.2016  Patentblatt  2016/35 (21) Anmeldenummer: 14789812.6 (22) Anmeldetag:  23.10.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/677(2006.01) H01J 37/34(2006.01) C23C 14/35(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/072762 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/059228 (30.04.2015 Gazette  2015/17)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 24.10.2013 DE 102013221680 (71) Anmelder: Meyer Burger (Germany) AG 09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)	(72) Erfinder: MAI, Joachim 04603 Nobitz (DE) ROST, Dirk 09337 Callenberg (DE) BAUMGÄRTNER, Rainer 09212 Limbach-Oberfrohna (DE) (74) Vertreter: Kailuweit & Uhlemann Patentanwälte Partnerschaft mbB  Bamberger Straße 49 01187 Dresden 01187 Dresden (DE)