(19)
(11) EP 3 069 026 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.09.2016  Patentblatt  2016/38

(21) Anmeldenummer: 14796105.6

(22) Anmeldetag:  10.11.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 18/02(2006.01)
F04C 25/02(2006.01)
F04C 23/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/074201
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/067810 (14.05.2015 Gazette  2015/19)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 11.11.2013 DE 102013222905

(71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • LIESSMANN, Markus
    41542 Dormagen (DE)
  • HÖLZER, Rainer
    50354 Hürth (DE)
  • STOLLE, Robert
    41564 Kaarst (DE)
  • ANASTASSIADIS, Ioannis
    52074 Aachen (DE)

(74) Vertreter: dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB 
Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) ANTRIEBS- UND STEUEREINRICHTUNG FÜR EINE VAKUUMPUMPE, VAKUUMPUMPE SOWIE VERFAHREN ZUM HERSTELLEN EINER STEUERPLATINE FÜR EINE VAKUUMPUMPE