(19)
(11) EP 3 071 837 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.09.2016  Patentblatt  2016/39

(21) Anmeldenummer: 14793138.0

(22) Anmeldetag:  04.11.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
F04C 28/06(2006.01)
F04C 28/02(2006.01)
 F04C 25/02(2006.01)
F04C 28/08(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/073681
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/074865 (28.05.2015 Gazette  2015/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 19.11.2013 DE 102013223556

(71) Anmelder: Oerlikon Leybold Vacuum GmbH
50968 Köln (DE)

(72) Erfinder:
  • BEYER, Christian
    50765 Köln (DE)
  • DREIFERT, Thomas
    50171 Kerpen (DE)
  • MÜLLER, Roland
    50968 Köln (DE)
  • SCHNEIDENBACH, Daniel
    50825 Köln (DE)
  • PELIKAN, Max
    53332 Bornheim (DE)
  • SCHILLER, Dirk
    50354 Hürth (DE)
  • STRATMANN, Dirk
    50129 Bergheim (DE)

(74) Vertreter: dompatent von Kreisler Selting Werner - Partnerschaft von Patent- und Rechtsanwälten mbB 
Deichmannhaus am Dom Bahnhofsvorplatz 1
50667 Köln
50667 Köln (DE)

   


(54) VAKUUMPUMPEN-SYSTEM SOWIE VERFAHREN ZUM BETREIBEN EINES VAKUUMPUMPEN-SYSTEMS