(19)
(11) EP 3 077 328 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
26.12.2018  Patentblatt  2018/52

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
01.08.2018  Patentblatt  2018/31

(21) Anmeldenummer: 14825252.1

(22) Anmeldetag:  02.12.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B82Y 10/00(2011.01)
 H01L 41/09(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/AT2014/050289
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/081361 (11.06.2015 Gazette  2015/23)

(54)

VORRICHTUNG ZUR MECHANISCHEN SPANNUNGSBEAUFSCHLAGUNG EINER DÜNNSCHICHT

DEVICE FOR MECHANICALLY APPLYING A STRESS TO A THIN-FILM

DISPOSITIF D'APPLICATION D'UNE CONTRAINTE MÉCANIQUE À UNE COUCHE MINCE

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(30) Priorität: 02.12.2013 AT 507892013

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
12.10.2016  Patentblatt  2016/41

(73) Patentinhaber: Universität Linz
4040 Linz (AT)

(72) Erfinder:
  • RASTELLI, Armando
    4020 Linz (AT)
  • DARUKA, Istvan
    4040 Linz (AT)
  • TROTTA, Rinaldo
    4040 Linz (AT)

(74) Vertreter: Patentanwaltskanzlei Hübscher 
Spittelwiese 4
4020 Linz
4020 Linz (AT)


(56) Entgegenhaltungen: : 
US-A- 4 226 507
 US-A1- 2007 206 300
   
  • BEETZ J ET AL: "Anisotropic strain-tuning of quantum dots inside a photonic crystal cavity", SEMICONDUCTOR SCIENCE AND TECHNOLOGY, IOP PUBLISHING LTD, GB, Bd. 28, Nr. 12, 20. November 2013 (2013-11-20), Seite 122002, XP020253830, ISSN: 0268-1242, DOI: 10.1088/0268-1242/28/12/122002 [gefunden am 2013-11-20]
  • ZANDER T ET AL: "Epitaxial quantum dots in stretchable optical microcavities", OPTICS EXPRESS, OSA (OPTICAL SOCIETY OF AMERICA), WASHINGTON DC, (US), Bd. 17, Nr. 25, 1. Januar 2009 (2009-01-01), Seiten 22452-22461, XP002671163, ISSN: 1094-4087 [gefunden am 2009-11-23]
   
Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).