(19)

(11)

EP 3 084 035 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.10.2016  Patentblatt  2016/43 (21) Anmeldenummer: 14780490.0 (22) Anmeldetag:  02.10.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 18/12(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/071169 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/090660 (25.06.2015 Gazette  2015/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 18.12.2013 EP 13005900 (71) Anmelder: Poligrat GmbH 81829 München (DE)	(72) Erfinder: BOEHME, Olaf 85435 Erding (DE) PIESSLINGER-SCHWEIGER, Siegfried 85591 Vaterstetten (DE) (74) Vertreter: Wibbelmann, Jobst  Wuesthoff & Wuesthoff Patentanwälte PartG mbB Schweigerstrasse 2 81541 München 81541 München (DE)