(19)

(11)

EP 3 084 816 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 26.10.2016  Patentblatt  2016/43 (21) Anmeldenummer: 14825330.5 (22) Anmeldetag:  19.12.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/673(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/078902 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/092038 (25.06.2015 Gazette  2015/25)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 20.12.2013 DE 102013021922 19.02.2014 DE 102014002280 (71) Anmelder: Centrotherm Photovoltaics AG 89143 Blaubeuren (DE)	(72) Erfinder: REICHART, Andreas 89180 Berghülen (DE) KELLER, Andreas 89614 Öpfingen (DE) (74) Vertreter: Emde, Eric  Wagner & Geyer Gewürzmühlstrasse 5 80538 München 80538 München (DE)