(19)
(11) EP 3 095 136 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
23.11.2016  Patentblatt  2016/47

(21) Anmeldenummer: 14802057.1

(22) Anmeldetag:  21.11.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/78(2006.01)
H01L 29/06(2006.01)
 H01L 29/739(2006.01)
H01L 29/66(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/075277
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/106863 (23.07.2015 Gazette  2015/29)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 15.01.2014 DE 102014200613

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • QU, Ning
    72770 Reutlingen (DE)
  • JACKE, Thomas
    72070 Tübingen (DE)
  • GRIEB, Michael
    71272 Renningen-Malmsheim (DE)
  • RAMBACH, Martin
    70569 Stuttgart (DE)

   


(54) SIC-TRENCH-TRANSISTOR UND VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG