ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSK..HRIS..MTNORS..SM..................*JBDM Ver 1.7.2 (20 November 2019) - 2999001/03097219CORRECTED EUROPEAN PATENT SPECIFICATIONB8B120210106W173deBibliographieenBibliographyfrBibliographieEP15737817.5201501082016081920180621enenen201461929178 P20140120US2021010620210120161130201648202010142020422020041520210106202101C23C 14/06 20060101AFI20200324BHEP C23C 14/22 20060101ALI20200324BHEP C23C 14/08 20060101ALI20200324BHEP C23C 14/24 20060101ALI20200324BHEP C23C 14/30 20060101ALI20200324BHEP C23C 14/50 20060101ALI20200324BHEP C23C 14/54 20060101ALI20200324BHEP F01D 15/10 20060101ALI20200324BHEP dePHYSIKALISCHE DAMPFABSCHEIDUNG MIT DREHZAHLAUSWAHL HINSICHTLICH DER ABSCHEIDUNGSGESCHWINDIGKEITenPHYSICAL VAPOR DEPOSITION USING ROTATIONAL SPEED SELECTED WITH RESPECT TO DEPOSITION RATEfrDÉPÔT PHYSIQUE EN PHASE VAPEUR UTILISANT UNE VITESSE DE ROTATION CHOISIE EN FONCTION D'UNE VITESSE DE DÉPÔTEP-A1- 0 972 853US-A- 5 087 477US-A- 5 856 027US-A1- 2003 180 571US-A1- 2003 203 127US-B1- 6 221 512US-B1- 6 221 5122017011220201545.920201013TRUBELJA, Mladen F.97 Blue Ridge DriveManchester, Connecticut 06040USLITTON, David A.22 Hilltop DriveWest Hartford, Connecticut 06107USDEPALMA, Joseph A.15 Marlene Dr.Feeding Hills, Massachusetts 01030USNEAL, James W.25 Majus CircleEllington, Connecticut 06029USMALONEY, Michael129 Edstrom RoadMarlborough, Connecticut 06447USBEERS, Russell, A.93 Gerald Dr.Manchester, Connecticut 06040USHAZEL, Brian T.18 KingsbridgeAvon, Connecticut 06001USCOTNOIR, Glenn A.8 Emil Dr.Thompson, Connecticut 06277USRaytheon Technologies Corporation10185619574.80.12940110 Farm Springs RoadFarmington, CT 06032USDehns101728904St. Bride's House 10 Salisbury SquareLondon EC4Y 8JDGBALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRUS201501058920150108enWO201510874720150723201529