(19)
(11) EP 3 104 418 B8

(12) KORRIGIERTE EUROPÄISCHE PATENTSCHRIFT
Hinweis: Bibliographie entspricht dem neuesten Stand

(15) Korrekturinformation:
Korrigierte Fassung Nr.  1 (W1 B1)

(48) Corrigendum ausgegeben am:
04.04.2018  Patentblatt  2018/14

(45) Hinweis auf die Patenterteilung:
14.02.2018  Patentblatt  2018/07

(21) Anmeldenummer: 15170950.8

(22) Anmeldetag:  08.06.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/0236(2006.01)
H01L 21/3065(2006.01)
 H01L 31/068(2012.01)

(54)

VERFAHREN UND VORRICHTUNG ZUM TEXTURIEREN EINER SILIZIUMOBERFLÄCHE

METHOD AND DEVICE FOR TEXTURING A SILICON SURFACE

PROCÉDÉ ET DISPOSITIF DESTINÉS À TEXTURER UNE SURFACE EN SILICIUM

(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR

(43) Veröffentlichungstag der Anmeldung:
14.12.2016  Patentblatt  2016/50

(73) Patentinhaber: Meyer Burger (Germany) GmbH
09337 Hohenstein-Ernstthal (DE)

(72) Erfinder:
  • Uhlig, Matthias
    09385 Lugau (DE)

(74) Vertreter: Steiniger, Carmen 
Patentanwaltskanzlei Dr. Steiniger Reichsstraße 37
09112 Chemnitz
09112 Chemnitz (DE)


(56) Entgegenhaltungen: : 
WO-A1-2007/049347
US-A1- 2013 069 204
 WO-A1-2012/145473
   
       
    Anmerkung: Innerhalb von neun Monaten nach der Bekanntmachung des Hinweises auf die Erteilung des europäischen Patents kann jedermann beim Europäischen Patentamt gegen das erteilte europäischen Patent Einspruch einlegen. Der Einspruch ist schriftlich einzureichen und zu begründen. Er gilt erst als eingelegt, wenn die Einspruchsgebühr entrichtet worden ist. (Art. 99(1) Europäisches Patentübereinkommen).