(19)
(11) EP 3 105 779 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.12.2016  Patentblatt  2016/51

(21) Anmeldenummer: 15703571.8

(22) Anmeldetag:  09.02.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/316(2006.01)
 H01L 21/36(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/052583
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/121183 (20.08.2015 Gazette  2015/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 14.02.2014 DE 102014202718

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • PHAM, Duy Vu
    46149 Oberhausen (DE)
  • WEBER, Dennis
    44137 Dortmund (DE)
  • JAEHNIKE, Felix
    44791 Bochum (DE)

   


(54) BESCHICHTUNGSZUSAMMENSETZUNG, VERFAHREN ZU IHRER HERSTELLUNG UND IHRE VERWENDUNG