(19)
(11) EP 3 111 471 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.01.2017  Patentblatt  2017/01

(21) Anmeldenummer: 15715139.0

(22) Anmeldetag:  16.02.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2015/100064
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/124145 (27.08.2015 Gazette  2015/34)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 24.02.2014 DE 202014100815 U

(71) Anmelder: Ramgraber GmbH
85649 Brunnthal (DE)

(72) Erfinder:
  • RAMGRABER, Egon
    85649 Brunnthal (DE)

(74) Vertreter: Bucher, Ralf Christian 
Patentanwalt Dipl.-Ing. Alte Landstrasse 23
85521 Ottobrunn
85521 Ottobrunn (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR NASSCHEMISCHEN BEHANDLUNG VON OBJEKTEN, INSBESONDERE VON FLACHEN, INSBESONDERE SCHEIBENFÖRMIGEN GEGENSTÄNDEN WIE HALBLEITERSCHEIBEN, SUBSTRATEN ODER DERGLEICHEN