(19)
(11) EP 3 113 947 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2017  Patentblatt  2017/02

(21) Anmeldenummer: 15708224.9

(22) Anmeldetag:  06.03.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
B32B 7/12(2006.01)
H01L 51/00(2006.01)
B32B 7/02(2006.01)
B32B 15/09(2006.01)
B32B 27/08(2006.01)
B32B 27/36(2006.01)
 H01L 21/683(2006.01)
H01L 51/52(2006.01)
B32B 15/08(2006.01)
B32B 15/12(2006.01)
B32B 27/12(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/054791
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/132410 (11.09.2015 Gazette  2015/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 07.03.2014 CH 338142014

(71) Anmelder: Fofitec AG
5605 Dottikon (CH)

(72) Erfinder:
  • FISCHER, Jules
    CH-8966 Oberwil-Lieli (CH)

   


(54) ROLLENMATERIAL FÜR EINE ODER MIT EINER SUBMIKROMETERSCHICHT AUF EINEM FLEXIBLEN TRÄGER UND VERWENDUNG DAVON