(19)
(11) EP 3 114 247 A2

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
11.01.2017  Patentblatt  2017/02

(21) Anmeldenummer: 15709615.7

(22) Anmeldetag:  06.03.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 8/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/000506
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/132006 (11.09.2015 Gazette  2015/36)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 07.03.2014 DE 102014103025

(71) Anmelder: Ernst-Moritz-Arndt-Universität Greifswald
17487 Greifswald (DE)

(72) Erfinder:
  • HUPEL, Daniel
    17489 Greifswald (DE)
  • HIPPLER, Rainer
    7498 Neuenkirchen (DE)
  • HELM, Christiane
    18439 Stralsund (DE)

(74) Vertreter: Kirchner, Christian 
Wallinger Ricker Schlotter Tostmann Patent- und Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Zweibrückenstrasse 5 - 7
80331 München
80331 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG EINES SUBSTRATES, VERWENDUNG DES SUBSTRATS UND VORRICHTUNG ZUR BESCHICHTUNG