(19)

(11)

EP 3 114 712 A2

(12)

(88) Veröffentlichungstag A3: 29.10.2015 (43) Veröffentlichungstag: 11.01.2017  Patentblatt  2017/02 (21) Anmeldenummer: 15719595.9 (22) Anmeldetag:  04.03.2015

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 31/0216(2014.01) H01L 31/0392(2006.01) H01L 31/18(2006.01) H01L 31/0368(2006.01) H01L 31/0747(2012.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/DE2015/100085 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/131881 (11.09.2015 Gazette  2015/36)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA (30) Priorität: 04.03.2014 DE 102014102864 (71) Anmelder: Helmholtz-Zentrum Berlin für Materialien und Energie GmbH 14109 Berlin (DE)	(72) Erfinder: AMKREUTZ, Daniel 12351 Berlin (DE) HASCHKE, Jan 2000 Neuchâtel (CH) RECH, Bernd 12587 Berlin (DE)