(19)
(11) EP 3 119 921 A1

(12)

(43) Date de publication:
25.01.2017  Bulletin  2017/04

(21) Numéro de dépôt: 15711152.7

(22) Date de dépôt:  19.03.2015
(51) Int. Cl.: 
C23C 16/455(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2015/055821
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2015/140261 (24.09.2015 Gazette  2015/38)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA

(30) Priorité: 21.03.2014 FR 1452385

(71) Demandeur: ALTATECH Semiconductor
38330 Montbonnot-Saint-Martin (FR)

(72) Inventeur:
  • VITIELLO, Julien
    F-38100 Grenoble (FR)

(74) Mandataire: Pontet Allano & Associes 
Parc Les Algorithmes, Bâtiment Platon CS 70003 Saint-Aubin
91192 Gif-sur-Yvette Cedex
91192 Gif-sur-Yvette Cedex (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE DÉPÔT EN PHASE GAZEUSE