PROCÉDÉ DE CROISSANCE D' ÉLÉMENTS ALLONGÉS (NANOFILS, MICROFILS) PARALLÈLES À PARTIR D'UN SUBSTRAT COMPORTANT POUR CHAQUE ÉLÉMENT ALLONGÉ UN GERME FORMÉ DANS UN CREUX D'UNE COUCHE DE NUCLÉATION OU D'UN PLOT DE NUCLÉATION - Patent 3122922

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EP 3 122 922 A1

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(43)	Date de publication:
	01.02.2017 Bulletin 2017/05

(21)	Numéro de dépôt: 15711194.9

(22)	Date de dépôt: 20.03.2015

(51)

Int. Cl.:

C30B 25/18^(2006.01)

C30B 29/40^(2006.01)

(86)	Numéro de dépôt:
	PCT/EP2015/056011

(87)	Numéro de publication internationale:
	WO 2015/144602 (01.10.2015 Gazette 2015/39)

(84)	Etats contractants désignés:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
	Etats d'extension désignés:
	BA ME
	Etats de validation désignés:
	MA

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Priorité:

27.03.2014 FR 1452629

(71)	Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives
	75015 Paris (FR)

(72)	Inventeur:
	HYOT, Bérangère F-38320 Eybens (FR)

(74)	Mandataire: Novaimo
	Bâtiment Europa 2 310 avenue Marie Curie Archamps Technopole 74166 Saint-Julien-en-Genevois Cedex 74166 Saint-Julien-en-Genevois Cedex (FR)

(54)	PROCÉDÉ DE CROISSANCE D' ÉLÉMENTS ALLONGÉS (NANOFILS, MICROFILS) PARALLÈLES À PARTIR D'UN SUBSTRAT COMPORTANT POUR CHAQUE ÉLÉMENT ALLONGÉ UN GERME FORMÉ DANS UN CREUX D'UNE COUCHE DE NUCLÉATION OU D'UN PLOT DE NUCLÉATION