(19)

(11)

EP 3 123 502 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 01.02.2017  Patentblatt  2017/05 (21) Anmeldenummer: 15713178.0 (22) Anmeldetag:  26.03.2015

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 21/67(2006.01) H05K 3/34(2006.01) H01L 23/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2015/056599 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/144835 (01.10.2015 Gazette  2015/39)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA (30) Priorität: 26.03.2014 DE 102014104267 04.04.2014 DE 102014104819 (71) Anmelder: Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG 63450 Hanau (DE)	(72) Erfinder: HINRICH, Andreas 63579 Freigericht (DE) DITZEL, Reinhard 63589 Linsengericht (DE) KLEIN, Andreas 63579 Freigericht (DE) (74) Vertreter: Kilchert, Jochen  Meissner Bolte Patentanwälte Rechtsanwälte Partnerschaft mbB Postfach 86 06 24 81633 München 81633 München (DE)