(19)
(11) EP 3 127 161 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.02.2017  Patentblatt  2017/06

(21) Anmeldenummer: 15708232.2

(22) Anmeldetag:  09.03.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 29/423(2006.01)
H01L 29/739(2006.01)
 H01L 29/78(2006.01)
H01L 21/336(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/054821
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/150023 (08.10.2015 Gazette  2015/40)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 03.04.2014 DE 102014206361

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • TRAUTMANN, Achim
    71229 Leonberg (DE)
  • BANZHAF, Christian Tobias
    89150 Laichingen (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER DIELEKTRISCHEN FELDPLATTE IN EINEM GRABEN EINES SUBSTRATS, ENTSPRECHENDE SUBSTRAT UND LEISTUNGSTRANSISTOR