(19)

(11)

EP 3 129 518 A1

(12)

(43) Date de publication: 15.02.2017  Bulletin  2017/07 (21) Numéro de dépôt: 15714579.8 (22) Date de dépôt:  06.03.2015

(51) Int. Cl.:  C23C 14/06(2006.01) C23C 14/26(2006.01) C01B 32/182(2017.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/FR2015/050551 (87) Numéro de publication internationale: WO 2015/132537 (11.09.2015 Gazette  2015/36)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA (30) Priorité: 07.03.2014 FR 1400560 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeurs: DIJON, Jean F-38800 Champagnier (FR) TYURNINA, Anastasia F-38000 Grenoble (FR) (74) Mandataire: Talbot, Alexandre et al Cabinet Hecké Europole 10, rue d'Arménie - BP 1537 38025 Grenoble Cedex 1 38025 Grenoble Cedex 1 (FR)