(19)

(11)

EP 3 129 519 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.02.2017  Patentblatt  2017/07 (21) Anmeldenummer: 15716018.5 (22) Anmeldetag:  09.04.2015

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 14/06(2006.01) C23C 28/04(2006.01) C23C 14/32(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2015/057684 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/155275 (15.10.2015 Gazette  2015/41)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA (30) Priorität: 09.04.2014 US 201461977188 P (71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon 8808 Pfäffikon SZ (CH)	(72) Erfinder: RAMM, Juergen CH-7304 Maienfeld (CH) SEIBERT, Florian CH-9475 Sevelen (CH) WIDRIG, Benno CH-7310 Bad Ragaz (CH) (74) Vertreter: Troesch Scheidegger Werner AG  Schwäntenmos 14 8126 Zumikon 8126 Zumikon (CH)