(19)
(11) EP 3 132 464 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
22.02.2017  Patentblatt  2017/08

(21) Anmeldenummer: 15722173.0

(22) Anmeldetag:  08.05.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/060254
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/193030 (23.12.2015 Gazette  2015/51)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 18.06.2014 DE 102014211713

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • EDER, Florian
    91052 Erlangen (DE)
  • MALEIKA, Marek
    90766 Fürth (DE)
  • ZRENNER, Rudolf
    76879 Bornheim (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUR PLASMABESCHICHTUNG UND VERFAHREN ZUM BESCHICHTEN EINER PLATINE