(19)

(11)

EP 3 137 657 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 08.03.2017  Patentblatt  2017/10 (21) Anmeldenummer: 14781230.9 (22) Anmeldetag:  08.10.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C30B 33/06(2006.01) B28D 1/22(2006.01) B23K 26/00(2014.01) H01L 21/762(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/071511 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/165552 (05.11.2015 Gazette  2015/44)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (30) Priorität: 30.04.2014 DE 102014006328 (71) Anmelder: Siltectra GmbH 01099 Dresden (DE)	(72) Erfinder: RICHTER, Jan 01277 Dresden (DE) (74) Vertreter: Ascherl, Andreas et al KEHL, ASCHERL, LIEBHOFF & ETTMAYR Patentanwälte - Partnerschaft Emil-Riedel-Strasse 18 80538 München 80538 München (DE)