(19)
(11) EP 3 138 119 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
08.03.2017  Patentblatt  2017/10

(21) Anmeldenummer: 15715773.6

(22) Anmeldetag:  17.04.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/228(2006.01)
H01L 21/22(2006.01)
 H01L 31/18(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/058371
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/165755 (05.11.2015 Gazette  2015/44)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 29.04.2014 DE 102014208054

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • MADER, Christoph
    48153 Münster (DE)
  • GÜNTHER, Christian
    42113 Wuppertal (DE)
  • ERZ, Joachim
    79739 Schwörstadt (DE)
  • MARTENS, Susanne
    45131 Essen (DE)
  • LEHMKUHL, Jasmin
    45721 Haltern am See (DE)
  • TRAUT, Stephan
    79541 Lörrach Brombach (DE)
  • WUNNICKE, Odo
    48161 Münster (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG UNTERSCHIEDLICH DOTIERTER HALBLEITER