(19)
(11) EP 3 140 854 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
15.03.2017  Patentblatt  2017/11

(21) Anmeldenummer: 14758919.6

(22) Anmeldetag:  03.09.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/48(2006.01)
H01L 23/488(2006.01)
H01L 21/98(2006.01)
 H01L 21/60(2006.01)
H01L 23/13(2006.01)
H01L 25/065(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/068739
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/169401 (12.11.2015 Gazette  2015/45)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(30) Priorität: 05.05.2014 EP 14167010

(71) Anmelder: Heraeus Deutschland GmbH & Co. KG
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHÄFER, Michael
    36093 Künzell (DE)
  • DUCH, Susanne Klaudia
    63486 Bruchköbel (DE)

(74) Vertreter: Heraeus IP 
Heraeus Holding GmbH Schutzrechte Heraeusstraße 12-14
63450 Hanau
63450 Hanau (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM AUFBRINGEN GETROCKNETER METALLSINTERZUBEREITUNG MITTELS EINES TRANSFERSUBSTRATS AUF EINEN TRÄGER FÜR ELEKTRONIKBAUTEILE, ENTSPRECHENDER TRÄGER UND SEINE VERWENDUNG ZUM SINTERVERBINDEN MIT ELEKTRONIKBAUTEILEN