(19)

(11)

EP 3 140 863 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 15.03.2017  Patentblatt  2017/11 (21) Anmeldenummer: 14736352.7 (22) Anmeldetag:  01.07.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H01L 25/07(2006.01) H01L 23/00(2006.01) H01L 23/40(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/063954 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2016/000762 (07.01.2016 Gazette  2016/01)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: BÖHM, Matthias 91564 Neuendettelsau (DE) BREHM, Holger Siegmund 91052 Erlangen (DE) SCHMITT, Daniel 90459 Nürnberg (DE)