(19)

(11)

EP 3 152 983 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 12.04.2017  Patentblatt  2017/15 (21) Anmeldenummer: 14728957.3 (22) Anmeldetag:  06.06.2014

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  H05G 2/00(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2014/061816 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2015/185152 (10.12.2015 Gazette  2015/49)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME (71) Anmelder: TRUMPF Lasersystems for Semiconductor Manufacturing GmbH 71254 Ditzingen (DE)	(72) Erfinder: SCHULZ, Joachim 70839 Gerlingen (DE) (74) Vertreter: Kohler Schmid Möbus Patentanwälte  Partnerschaftsgesellschaft mbB Gropiusplatz 10 70563 Stuttgart 70563 Stuttgart (DE)