(19)
(11) EP 3 155 139 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
19.04.2017  Patentblatt  2017/16

(21) Anmeldenummer: 15728842.4

(22) Anmeldetag:  11.06.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/22(2006.01)
C23C 14/50(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/063089
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/189344 (17.12.2015 Gazette  2015/50)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 13.06.2014 DE 102014108348

(71) Anmelder: OSRAM Opto Semiconductors GmbH
93055 Regensburg (DE)

(72) Erfinder:
  • LEMBERGER, Martin
    91077 Neunkirchen (DE)
  • SCHMAL, Michael
    92287 Schmidmühlen (DE)
  • IKONOMOV, Julian
    93073 Neutraubling (DE)

(74) Vertreter: Epping - Hermann - Fischer 
Patentanwaltsgesellschaft mbH Schloßschmidstraße 5
80639 München
80639 München (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINER BESCHICHTUNG SOWIE OPTOELEKTRONISCHES HALBLEITERBAUTEIL MIT EINER BESCHICHTUNG