(19)
(11) EP 3 161 862 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
03.05.2017  Patentblatt  2017/18

(21) Anmeldenummer: 14739077.7

(22) Anmeldetag:  27.06.2014
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 21/683(2006.01)
B32B 43/00(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2014/063687
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2015/197132 (30.12.2015 Gazette  2015/52)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME

(71) Anmelder: Thallner, Erich
4782 St. Florian (AT)

(72) Erfinder:
  • Thallner, Erich
    4782 St. Florian (AT)

(74) Vertreter: Schneider, Sascha et al
Becker & Müller Patentanwälte Turmstraße 22
40878 Ratingen
40878 Ratingen (DE)

   


(54) PROBENHALTER, VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUM LÖSEN EINES ERSTEN SUBSTRATS