(19)
(11) EP 3 171 992 A1

(12)

(43) Date de publication:
31.05.2017  Bulletin  2017/22

(21) Numéro de dépôt: 15742191.8

(22) Date de dépôt:  03.07.2015
(51) Int. Cl.: 
B08B 7/00(2006.01)
B08B 9/08(2006.01)
H01L 21/677(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2015/065171
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/012216 (28.01.2016 Gazette  2016/04)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA

(30) Priorité: 24.07.2014 FR 1457174

(71) Demandeur: Pfeiffer Vacuum
74000 Annecy (FR)

(72) Inventeurs:
  • PALISSON, Julien
    74540 Saint Felix (FR)
  • LE GUET, Catherine
    F-73290 La Motte Servolex (FR)

(74) Mandataire: Croonenbroek, Thomas Jakob et al
Innovincia 11, avenue des Tilleuls
74200 Thonon-les-Bains
74200 Thonon-les-Bains (FR)

   


(54) PROCEDE ET STATION DE TRAITEMENT D'UNE BOÎTE DE TRANSPORT EN MATÉRIAU PLASTIQUE POUR LE CONVOYAGE ET LE STOCKAGE ATMOSPHÉRIQUE DE SUBSTRATS