(19)
(11) EP 3 180 801 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
21.06.2017  Patentblatt  2017/25

(21) Anmeldenummer: 15797245.6

(22) Anmeldetag:  14.08.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/67(2006.01)
H01L 21/603(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/DE2015/000401
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/023535 (18.02.2016 Gazette  2016/07)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 14.08.2014 DE 102014111634

(71) Anmelder: ATV Technologie GmbH
85591 Vaterstetten (DE)

(72) Erfinder:
  • RANGELOV, Ventzeslav
    85591 Vaterstetten (DE)
  • KOWALSKY, Siegfried
    85591 Vaterstetten (DE)
  • PORT, Walter
    85591 Vaterstetten (DE)
  • KOCH, Roland
    85591 Vaterstetten (DE)

(74) Vertreter: Kronthaler, Wolfgang N.K. 
Kronthaler, Schmidt & Coll. Patentanwälte Pfarrstraße 14
80538 München
80538 München (DE)

   


(54) VORRICHTUNG ZUM INSBESONDERE THERMISCHEN VERBINDEN MIKRO-ELEKTROMECHANISCHER BAUTEILE