(19)
(11) EP 3 183 374 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
28.06.2017  Patentblatt  2017/26

(21) Anmeldenummer: 15726036.5

(22) Anmeldetag:  18.05.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 14/34(2006.01)
G02B 5/22(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/060883
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/026590 (25.02.2016 Gazette  2016/08)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 20.08.2014 DE 102014111935

(71) Anmelder: Materion Advanced Materials Germany GmbH
63450 Hanau (DE)

(72) Erfinder:
  • SCHLOTT, Martin
    63075 Offenbach (DE)
  • KASTNER, Albert
    63457 Hanau (DE)
  • SCHULTHEIS, Markus
    36103 Flieden (DE)
  • WAGNER, Jens
    60322 Frankfurt (DE)

(74) Vertreter: Kador & Partner 
Corneliusstraße 15
80469 München
80469 München (DE)

   


(54) ZWEILAGIGES SCHICHTSYSTEM MIT TEILABSORBIERENDER SCHICHT SOWIE VERFAHREN UND SPUTTERTARGET ZUR HERSTELLUNG DIESER SCHICHT