(19)
(11) EP 3 186 407 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
05.07.2017  Patentblatt  2017/27

(21) Anmeldenummer: 15762510.4

(22) Anmeldetag:  26.08.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 24/04(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/069494
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/030402 (03.03.2016 Gazette  2016/09)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 28.08.2014 DE 102014217179

(71) Anmelder: Wacker Chemie AG
81737 München (DE)

(72) Erfinder:
  • FORSTPOINTNER, Gerhard
    84556 Kastl (DE)
  • BAUMANN, Bernhard
    84547 Emmerting (DE)
  • FRICKE, Michael
    84489 Burghausen (DE)

(74) Vertreter: Potten, Holger et al
Wacker Chemie AG Zentralbereich Patente, Marken und Lizenzen Hanns-Seidel-Platz 4
81737 München
81737 München (DE)

   


(54) KUNSTSTOFFSUBSTRATE MIT SILICIUMBESCHICHTUNG