ATBECHDEDKESFRGBGRITLILUNLSEMCPTIESILTLVFIROMKCYALTRBGCZEEHUPLSKBAHRIS..MTNORSMESMMA................*XBDM Ver 0.1.59 (03 Mar 2017) - 1100000/03189537A120170712EP15790301.42015090420170227enenen201343220140905NL2017071220172820170712201728H01J 37/28 20060101AFI20160318BHEP H01J 37/22 20060101ALI20160318BHEP deKOMPAKTE INSPEKTIONSVORRICHTUNG MIT EINEM RASTERELEKTRONENMIKROSKOP UND OPTISCHEM MIKROSKOPenCOMPACT INSPECTION APPARATUS COMPRISING A SCANNING ELECTRON MICROSCOPE AND AN OPTICAL MICROSCOPEfrAPPAREIL D'INSPECTION COMPACT COMPRENANT UN MICROSCOPE ÉLECTRONIQUE À BALAYAGE ET UN MICROSCOPE OPTIQUEDelmic B.V.101583811EPP201115AThijsseweg 112629 JA DelftNLEFFTING, Andries Pieter JohanPrins Hendrikstraat 63ANL-2518 HL Den HaagNLDE PINTH, Wilhelmus Johannes AdriaanSlingebeek 19NL-5172 DN KaatsheuvelNLDE SWART, GijsbertMeerbergsven 31NL-5646 HE EindhovenNLPeters, Sebastian Martinus101466259Octrooibureau Vriesendorp & Gaade B.V. Koninginnegracht 192514 AB Den HaagNLALATBEBGCHCYCZDEDKEEESFIFRGBGRHRHUIEISITLILTLULVMCMKMTNLNOPLPTRORSSESISKSMTRBAMEMANL201505061620150904enWO201603625020160310201610