| (84) |
Benannte Vertragsstaaten: |
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AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL
NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR |
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Benannte Erstreckungsstaaten: |
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BA ME |
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Benannte Validierungsstaaten: |
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MA |
| (30) |
Priorität: |
29.09.2014 DE 102014219663
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| (71) |
Anmelder: |
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- Technische Universität Berlin
10623 Berlin (DE)
- IHP GmbH-Innovations for High Performance
Microelectronics / Leibniz-Institut für innovative
Mikroelektronik
15236 Frankfurt / Oder (DE)
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| (72) |
Erfinder: |
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- RHEE, Hanjo
10439 Berlin (DE)
- HENNIGES, Marvin
10245 Berlin (DE)
- MEISTER, Stefan
12587 Berlin (DE)
- THEISS, Christoph
14169 Berlin (DE)
- SELICKE, David
15345 Altlandsberg (DE)
- STOLAREK, David
15230 Frankfurt (Oder) (DE)
- ZIMMERMANN, Lars
10623 Berlin (DE)
- RICHTER, Harald H.
15234 Frankfurt (Oder) (DE)
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| (74) |
Vertreter: Fischer, Uwe |
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Patentanwalt
Moritzstraße 22
13597 Berlin
13597 Berlin (DE) |
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