BAUELEMENT AUF BASIS EINES STRUKTURIERBAREN SUBSTRATS MIT DREIDIMENSIONALER, POREN IM NM-BEREICH AUFWEISENDER MEMBRANSTRUKTUR UND HALBLEITERTECHNOLOGISCHES VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG - Patent 3213068

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EP 3 213 068 A1

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(43)	Veröffentlichungstag:
	06.09.2017 Patentblatt 2017/36

(21)	Anmeldenummer: 15784646.0

(22)	Anmeldetag: 21.10.2015

(51)

Internationale Patentklassifikation (IPC):

G01N 33/487^(2006.01)
B01D 67/00^(2006.01)

B81C 1/00^(2006.01)

(86)	Internationale Anmeldenummer:
	PCT/EP2015/074416

(87)	Internationale Veröffentlichungsnummer:
	WO 2016/066505 (06.05.2016 Gazette 2016/18)

(84)	Benannte Vertragsstaaten:
	AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
	Benannte Erstreckungsstaaten:
	BA ME
	Benannte Validierungsstaaten:
	MA

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Priorität:

31.10.2014 DE 102014115884
30.01.2015 DE 102015101425

(71)	Anmelder: Fraunhofer-Gesellschaft zur Förderung der angewandten Forschung e.V.
	80686 München (DE)

(72)	Erfinder:
	LISEC, Thomas 25524 Itzehoe (DE) NEBLING, Eric 25421 Pinneberg (DE) KUBICK, Stefan 14129 Berlin (DE) RUPP, Steffen 70569 Stuttgart (DE)

(74)	Vertreter: Strehl Schübel-Hopf & Partner
	Maximilianstrasse 54 80538 München 80538 München (DE)

(54)	BAUELEMENT AUF BASIS EINES STRUKTURIERBAREN SUBSTRATS MIT DREIDIMENSIONALER, POREN IM NM-BEREICH AUFWEISENDER MEMBRANSTRUKTUR UND HALBLEITERTECHNOLOGISCHES VERFAHREN ZU DESSEN HERSTELLUNG