(19)
(11) EP 3 221 901 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
27.09.2017  Patentblatt  2017/39

(21) Anmeldenummer: 15794943.9

(22) Anmeldetag:  17.11.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 31/068(2012.01)
H01L 31/18(2006.01)
 H01L 21/02(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/076761
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/079087 (26.05.2016 Gazette  2016/21)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 18.11.2014 DE 102014223465

(71) Anmelder: Evonik Degussa GmbH
45128 Essen (DE)

(72) Erfinder:
  • MADER, Christoph
    48153 Münster (DE)
  • WUNNICKE, Odo
    48161 Münster (DE)
  • MARTENS, Susanne
    79541 Lörrach (DE)
  • LEHMKUHL, Jasmin
    45721 Haltern am See (DE)
  • GUENTHER, Christian
    42113 Wuppertal (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUR ERZEUGUNG VON DOTIERTEN, POLYKRISTALLINEN HALBLEITERSCHICHTEN