(19)
(11) EP 3 224 573 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
04.10.2017  Patentblatt  2017/40

(21) Anmeldenummer: 15763904.8

(22) Anmeldetag:  15.09.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
G01B 11/25(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/071011
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/124261 (11.08.2016 Gazette  2016/32)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA

(30) Priorität: 06.02.2015 DE 102015202182

(71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft
80333 München (DE)

(72) Erfinder:
  • WISSMANN, Patrick
    81677 München (DE)
  • FORSTER, Frank
    81739 München (DE)
  • SCHICK, Anton
    84149 Velden (DE)

   


(54) VORRICHTUNG UND VERFAHREN ZUR SEQUENTIELLEN, DIFFRAKTIVEN MUSTERPROJEKTION