(19)

(11)

EP 3 230 492 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag: 18.10.2017  Patentblatt  2017/42 (21) Anmeldenummer: 16700806.9 (22) Anmeldetag:  13.01.2016

(51) Internationale Patentklassifikation (IPC):  C23C 24/04(2006.01) (86) Internationale Anmeldenummer: PCT/EP2016/050533 (87) Internationale Veröffentlichungsnummer: WO 2016/124362 (11.08.2016 Gazette  2016/32)

(84) Benannte Vertragsstaaten: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Benannte Erstreckungsstaaten: BA ME Benannte Validierungsstaaten: MA MD (30) Priorität: 04.02.2015 DE 102015201927 (71) Anmelder: Siemens Aktiengesellschaft 80333 München (DE)	(72) Erfinder: REZNIK, Daniel 13503 Berlin (DE) STIER, Oliver 12163 Berlin (DE)