(19)
(11) EP 3 230 686 A1

(12)

(43) Date de publication:
18.10.2017  Bulletin  2017/42

(21) Numéro de dépôt: 15807675.2

(22) Date de dépôt:  09.12.2015
(51) Int. Cl.: 
G01B 11/06(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/EP2015/079178
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/091983 (16.06.2016 Gazette  2016/24)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 11.12.2014 FR 1462287

(71) Demandeurs:
  • Université du Maine
    72085 Le Mans Cedex 9 (FR)
  • Centre National de la Recherche Scientifique
    75794 Paris Cedex 16 (FR)
  • Universidad Nacional de Colombia
    Medellin (CO)

(72) Inventeurs:
  • PICART, Pascal
    72000 Le Mans (FR)
  • MALEK, Mokrane
    76300 Sotteville-les-Rouen (FR)
  • GARCIA-SUCERQUIA, Jorge
    Medellin 28-85 (CO)

(74) Mandataire: Vidon Brevets & Stratégie 
16B, rue de Jouanet B.P. 90333 Technopole Atalante
35703 Rennes Cedex 7
35703 Rennes Cedex 7 (FR)

   


(54) PROCÉDÉ DE DÉTERMINATION DE L'ÉPAISSEUR D'UNE COUCHE MINCE PAR INTERFÉROMÉTRIE MULTI-LONGUEUR D'ONDE, PRODUIT PROGRAMME D'ORDINATEUR, MOYEN DE STOCKAGE ET SYSTÈME CORRESPONDANTS