(19)

(11)

EP 3 234 212 A1

(12)

(43) Date de publication: 25.10.2017  Bulletin  2017/43 (21) Numéro de dépôt: 15816162.0 (22) Date de dépôt:  18.12.2015

(51) Int. Cl.:  C23C 14/08(2006.01) C23C 14/34(2006.01) (86) Numéro de dépôt: PCT/EP2015/080605 (87) Numéro de publication internationale: WO 2016/097348 (23.06.2016 Gazette  2016/25)

(84) Etats contractants désignés: AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR Etats d'extension désignés: BA ME Etats de validation désignés: MA MD (30) Priorité: 18.12.2014 FR 1462714 (71) Demandeur: Commissariat à l'Énergie Atomique et aux Énergies Alternatives 75015 Paris (FR)	(72) Inventeur: BRIZE, Virginie 38400 Saint Martin d'Heres (FR) (74) Mandataire: Nony  11 rue Saint-Georges 75009 Paris 75009 Paris (FR)