(19)
(11) EP 3 234 233 A1

(12)

(43) Date de publication:
25.10.2017  Bulletin  2017/43

(21) Numéro de dépôt: 15820231.7

(22) Date de dépôt:  16.12.2015
(51) Int. Cl.: 
C30B 25/14(2006.01)
C23C 16/30(2006.01)
C23C 16/455(2006.01)
F15D 1/08(2006.01)
 C30B 29/40(2006.01)
C23C 16/44(2006.01)
B01J 4/00(2006.01)
H01L 21/02(2006.01)
(86) Numéro de dépôt:
PCT/FR2015/053554
(87) Numéro de publication internationale:
WO 2016/097610 (23.06.2016 Gazette  2016/25)
(84) Etats contractants désignés:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Etats d'extension désignés:
BA ME
Etats de validation désignés:
MA MD

(30) Priorité: 16.12.2014 FR 1462521

(71) Demandeur: Saint-Gobain Isover
92400 Courbevoie (FR)

(72) Inventeurs:
  • BEAUMONT, Bernard
    06530 Le Tignet (FR)
  • POUROUCHOTTAMANE, Manivannane
    77500 Chelles (FR)

(74) Mandataire: Regimbeau 
20, rue de Chazelles
75847 Paris Cedex 17
75847 Paris Cedex 17 (FR)

   


(54) REACTEUR DE DEPOT CHIMIQUE EN PHASE VAPEUR