(19)
(11) EP 3 247 818 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.11.2017  Patentblatt  2017/48

(21) Anmeldenummer: 16700882.0

(22) Anmeldetag:  15.01.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
C23C 16/44(2006.01)
C23C 14/54(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/050840
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/116383 (28.07.2016 Gazette  2016/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 19.01.2015 US 201562104918 P
18.02.2015 US 201562117571 P

(71) Anmelder: Oerlikon Surface Solutions AG, Pfäffikon
8808 Pfäffikon (CH)

(72) Erfinder:
  • VETTER, Jörg
    51469 Bergisch Gladbach (DE)
  • KRASSNITZER, Siegfried
    6800 Feldkirch (AT)
  • ESSELBACH, Markus
    6800 Feldkirch (AT)

(74) Vertreter: Intellectual Property Services GmbH 
Langfeldstrasse 88
8500 Frauenfeld
8500 Frauenfeld (CH)

   


(54) BESCHICHTUNGSKAMMER ZUR DURCHFÜHRUNG EINES VAKUUM GESTÜTZTEN BESCHICHTUNGSVERFAHRENS, WÄRMESCHILD, SOWIE BESCHICHTUNGSVERFAHREN