(19)
(11) EP 3 248 211 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
29.11.2017  Patentblatt  2017/48

(21) Anmeldenummer: 15797674.7

(22) Anmeldetag:  20.11.2015
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01L 21/02(2006.01)
 H01L 29/66(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2015/077240
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/116195 (28.07.2016 Gazette  2016/30)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 22.01.2015 DE 102015201048

(71) Anmelder: Robert Bosch GmbH
70442 Stuttgart (DE)

(72) Erfinder:
  • HEUCK, Friedjof
    70197 Stuttgart (DE)
  • NAGEL, Sabine
    71732 Tamm (DE)
  • ROHLFING, Franziska
    71229 Leonberg (DE)

   


(54) VERFAHREN ZUM ERZEUGEN EINER KOHLENSTOFFSCHICHT AUF EINER AUSGANGSSTRUKTUR UND MIKROELEKTROMECHANISCHE ODER HALBLEITER-STRUKTUR