(19)
(11) EP 3 257 064 A1

(12)

(43) Veröffentlichungstag:
20.12.2017  Patentblatt  2017/51

(21) Anmeldenummer: 16703964.3

(22) Anmeldetag:  09.02.2016
(51) Internationale Patentklassifikation (IPC): 
H01J 37/32(2006.01)
(86) Internationale Anmeldenummer:
PCT/EP2016/052698
(87) Internationale Veröffentlichungsnummer:
WO 2016/128384 (18.08.2016 Gazette  2016/33)
(84) Benannte Vertragsstaaten:
AL AT BE BG CH CY CZ DE DK EE ES FI FR GB GR HR HU IE IS IT LI LT LU LV MC MK MT NL NO PL PT RO RS SE SI SK SM TR
Benannte Erstreckungsstaaten:
BA ME
Benannte Validierungsstaaten:
MA MD

(30) Priorität: 10.02.2015 DE 102015202317

(71) Anmelder: TRUMPF Hüttinger GmbH + Co. KG
79111 Freiburg (DE)

(72) Erfinder:
  • NITSCHKE, Moritz
    79114 Freiburg (DE)

(74) Vertreter: Trumpf Patentabteilung 
Trumpf GmbH & Co KG TH501 Patente und Lizenzen Johann-Maus-Straße 2
71254 Ditzingen
71254 Ditzingen (DE)

   


(54) LEISTUNGSVERSORGUNGSSYSTEM FÜR EINEN PLASMAPROZESS MIT REDUNDANTER LEISTUNGSVERSORGUNG